无尘室内系统除了通称的空调系统之外,
制程设备也包括在内,
本节将对该二系统之运转维护及保养做一概略说
明。
无尘室内之生产制造设备注意之重点有三:
1.
生产设备之选择、布置与保养:
a.
要选用发尘性较少的生产设备及相关设备,尤其须注意活动部分之发尘。
b.
应选择尘埃之影响较小的生产设备或接口设备。
c.
生产用之水、气体、药品等往往是造成污染的原因,故应配备过滤装置。
d.
规划各设备之配置空间时,事先宜考虑不易积累微尘之结构,规划各并以容易清洁为原则。
e.
真空泵等容易产生污染物的这类设备,应设置在无尘室外面或回风区,并加装排气管线排气。
f.
设置给水管线、气体管线和电气系统时,其构造须考虑到容易清洁,不易积累污染物。
g.
生产及相关设备应定期清扫,以避免微尘之堆积。
h.
应加强注意室内的温湿度控制,避免因湿度之不当造成结露生锈。
i.
当设备维修时易产生微尘粒子,故维修时尽量于清洁室外进行,并加隔离栅隔离。
j.
对于施工或维修之厂商,应告知进出无尘室之各项规定,且负责工程师应随侍在侧监工。
k.
应有无尘室专用工具组,但不得带出无尘室外使用。
l.
规划空间时若能临近无尘室设立一间维修和设备保养手册置放室,将是一理想之规划。
2.
生产设备之防尘措施:
a.
磨损、切削均为发生微尘之原因,故需将发尘部分掩盖之。
b.
易产生尘埃之设备,若能的话应布置于风尾地点。
c.
在操作时,尽量减少接触零件或产品。颤毕稿
d.
不得有太大或不必要的操作动作,以免卷起数汪附近之灰尘。
e.
各项厂务设施之供应如水、气体和化学品于进入生产设备前应有过滤设备。
f.
为不使气体或液体滞留,造成微污染,故管路配置应有旁路阀之设置。
3.
自动化与无尘化:
a.
设立自动化传送系统,可减少人员方面所带来的污染,唯费用相当昂贵,须详加评估。
b.
建立管制项目如进入无尘室人员的资格限定,无尘室作业人员作业规则,无尘室管理规则等,这些规则已
在前面章节叙述,此处不再说明。
在无尘室之维护管理方面,可分三部分加以说明:
1.
建筑物之维护管理:
a.
建筑物内定期检查清洁。
b.
地板之清扫管理及损坏更新。
c.
隔间墙及天花板检查清洁和封补。
d.
窗户及门之保养等。
2.
环境测定与管理:
无尘室内之运转环境状况如温、湿度及微尘粒子数应每日定期量测,以确实掌握质茄孝量,若有数据异常,可立
即做紧急处理。
3.
防尘空调设备之维护管理:
a.
温、湿度及尘埃浓度管理,在前面以述及,唯其量测仪器应做定期校正检验,若有设备移动或施工时须做
局部测量。
b.
过滤网之管理:定期检查及更换,表
6
为各种过滤网之检查及更换周期。
c.
空气调节器管理:定期检查隔板接缝及内部污染状况,冷热盘管是否有腐蚀现象。
d.
送风机之管理:定期检查送风机运转状况。如表
7
所示为送风机之各项检查内容及周期。
e.
风管及出风口之管理:检查风管是否有腐蚀、污染、尘埃堆积或保温脱落等。
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